移动靶镀膜装置及镀膜方法

Coating device with moving target and coating method

Dispositif de revêtement avec cible mobile et procédé de revêtement

Abstract

La présente invention concerne un dispositif de revêtement avec une cible mobile. Le dispositif de revêtement comprend : une cible (1) ; une unité de support de cible (2) configurée pour soutenir et déplacer la cible (1) ; une unité de détection de température à infrarouge (3) configurée pour détecter une température de surface de la cible (1) ; une unité de chauffage à infrarouge (4) configurée pour chauffer la cible (1) ; et une unité de commande (10) configurée pour recevoir un signal de détection depuis l'unité de détection de température à infrarouge (3) et déterminer si la température de surface de la cible (1) est uniforme. L'unité de commande (10) est en outre configurée pour commander l'unité de chauffage à infrarouge (4) de telle manière que l'unité de chauffage à infrarouge (4) chauffe une partie de la cible (1) ayant une température de surface plus faible et arrête le chauffage une fois que la température de surface de la cible (1) est uniforme. L'invention concerne en outre un procédé de revêtement utilisant le dispositif de revêtement avec la cible mobile.
一种移动靶镀膜装置,包括:靶源(1);靶源承载部(2),被配置为承载和驱动靶源(1)运动;红外温度探测部(3),被配置为检测靶源(1)表面温度;红外加热部(4),被配置为加热靶源(1);控制部(10),被配置为接收红外温度探测部(3)的探测信号和判断靶源(1)表面的温度是否均匀;其中,控制部(10)还被配置为控制红外加热部(4)加热靶源(1)表面温度较低的部分,至靶源(1)表面温度均匀时停止加热。以及一种采用移动靶镀膜装置镀膜的方法。
Disclosed is a coating device with a moving target. The coating device comprises: a target (1); a target support unit (2) configured to support and move the target (1); an infrared temperature detecting unit (3) configured to detect a surface temperature of the target (1); an infrared heating unit (4) configured to heat the target (1); and a control unit (10) configured to receive a detection signal from the infrared temperature detecting unit (3) and determine if the surface temperature of the target (1) is uniform. The control unit (10) is also configured to control the infrared heating unit (4) in a way such that the infrared heating unit (4) heats a portion of the target (1) having a lower surface temperature and stops the heating once the surface temperature of the target (1) is uniform. Also disclosed is a coating method employing the coating device with the moving target.

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